[發明專利]制造三族氮化物裝置的方法及使用該方法制造的裝置無效
| 申請號： | 200580015803.3 | 申請日： | 2005-05-17 |
| 公開（公告）號： | CN1957481A | 公開（公告）日： | 2007-05-02 |
| 發明（設計）人： | 中村修二;S·迪巴爾司;J·艾德蒙;U·米史拉;C·史華波達 | 申請（專利權）人： | 美商克立股份有限公司 |
| 主分類號： | H01L33/00 | 分類號： | H01L33/00 |
| 代理公司： | 上海專利商標事務所有限公司 | 代理人： | 顧敏 |
| 地址： | 美國北卡*** | 國省代碼： | 美國;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 制造 氮化物 裝置 方法 使用 | ||
【說明書】：
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