[發明專利]具有整體集成壓力傳感器的微縫隙式粘度計

有效

• 申請號: 200580014842.1
• 申請日: 2005-03-11
• 公開（公告）號: CN101124467A
• 公開（公告）日: 2008-02-13
• 發明（設計）人: S·－G·貝克
• 申請（專利權）人: 電流感應器公司
• 主分類號: G01L13/02
• 分類號: G01L13/02
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司
• 代理人: 溫大鵬;廖凌玲

1.一種用于確定液體粘度的縫隙流變計，所述縫隙流變計包括：

包含三個側壁的具有至少一條流道的通道基板、至少一個流入口和至少一個流出口；

具有至少兩個獨立壓力傳感器的整體式傳感器板，所述至少兩個獨立壓力傳感器沿縱向位于所述至少一條流道的每條流道中充分遠離所述入口和出口的兩個不同位置處以使得可測量完全展開流的壓力降；

所述通道基板和所述傳感器板被組合在一起以使得所述傳感器板表面成為側壁，所述側壁使得能夠在所述液體沿除液體入口和出口區域的所述通道流動的過程中與所述液體的所述通道基板的所述三個側壁一起被完全包含。

2.根據權利要求1所述的縫隙流變計，附加地包括使液體受力以已知的體積流速流動通過通道的裝置。

3.根據權利要求1所述的縫隙流變計，其中所述流道具有一定寬度和深度且其中所述流道的所述寬度比所述至少一條流道的每條流道中所述流道的所述深度大至少約10倍。

4.根據權利要求1所述的縫隙流變計，其中所述傳感器板具有用于所述至少一條流道的每條流道的至少一個溫度傳感器，所述溫度傳感器被設置以測量流動通過所述流道的所述液體的溫度。

5.根據權利要求1所述的縫隙流變計，其中存在串聯連接的至少兩條流道。

6.根據權利要求5所述的縫隙流變計，其中所述至少兩條流道的通道深度不同。

7.根據權利要求1所述的縫隙流變計，其中所述至少兩條流道的通道寬度不同。

8.根據權利要求1所述的縫隙流變計，其中存在平行的至少兩條通道。

9.根據權利要求1所述的縫隙流變計，其中所述至少一條通道的深度處于微米數量級。

10.根據權利要求9所述的縫隙流變計，其中所述至少一條通道的寬度為至少約10微米。

11.根據權利要求10所述的縫隙流變計，其中所述至少一條通道具有至少約100微米的長度。

12.根據權利要求1所述的縫隙流變計，其中所述壓力傳感器是電容壓力傳感器。

13.一種縫隙流變計，所述縫隙流變計包括：

本體；

所述本體中的多個凹部，每個所述凹部具有不同尺寸且被串聯連接在一起以形成通過所述本體的流道；和

與每個凹部相關聯以指示由流動通過所述凹部的液體在與所述凹部相關聯的每個所述壓力傳感器的位置處施加在所述凹部上的壓力的多個壓力傳感器。

14.根據權利要求13所述的縫隙流變計，其中存在至少兩個凹部。

15.根據權利要求13所述的縫隙流變計，其中存在與每個凹部相關聯的至少兩個壓力傳感器。

16.根據權利要求13所述的縫隙流變計，其中所述凹部分別具有不同深度。

17.根據權利要求13所述的縫隙流變計，其中所述凹部分別具有不同寬度。

18.一種制造縫隙流變計的方法，所述方法包括：

在微制造晶片中蝕刻出至少兩個空腔；

使所述蝕刻的微制造晶片與基板組合在一起以形成壓力傳感器板，所述壓力傳感器板具有在所述空腔中形成的壓力傳感器；并且

使所述壓力傳感器板與另一塊基板組合在一起以形成流道，液體可流動通過所述流道，所述流道在所述壓力傳感器板中的所述壓力傳感器上通過。

19.根據權利要求18所述的制造縫隙流變計的方法，其中利用化學蝕刻工藝蝕刻出所述至少兩個井部。

20.根據權利要求18所述的制造縫隙流變計的方法，其中利用等離子體蝕刻工藝蝕刻出所速至少兩個井部。

21.根據權利要求18所述的制造縫隙流變計的方法，其中利用化學蝕刻工藝和等離子體蝕刻工藝的組合工藝蝕刻出所述至少兩個井部。

22.根據權利要求18所述的制造縫隙流變計的方法，其中所述壓力傳感器是電容型傳感器。

23.根據權利要求18所述的制造縫隙流變計的方法，其中所述壓力傳感器是壓阻型傳感器。