[發明專利]用于增進信道載子移動性之具有高應力襯料之基于Si－Ge的半導體裝置有效
| 申請號： | 200580014063.1 | 申請日： | 2005-04-19 |
| 公開（公告）號： | CN1950946A | 公開（公告）日： | 2007-04-18 |
| 發明（設計）人： | S－P·孫;D·E·布朗 | 申請（專利權）人： | 先進微裝置公司 |
| 主分類號： | H01L29/78 | 分類號： | H01L29/78;H01L21/336;H01L29/10 |
| 代理公司： | 北京紀凱知識產權代理有限公司 | 代理人： | 戈泊;程偉 |
| 地址： | 美國加*** | 國省代碼： | 美國;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用于 增進 信道 移動性 具有 應力 襯料 基于 si ge 半導體 裝置 | ||
【權利要求書】：
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