[發明專利]尤其適用于微系統技術領域，運用干涉測量和基于成像處理進行組合式幾何檢測的設備和方法有效
| 申請號： | 200580013734.2 | 申請日： | 2005-05-03 |
| 公開（公告）號： | CN1950668A | 公開（公告）日： | 2007-04-18 |
| 發明（設計）人： | 彼得·萊曼;諾伯特·史蒂芬斯 | 申請（專利權）人： | 陸馬爾股份有限公司 |
| 主分類號： | G01B9/04 | 分類號： | G01B9/04 |
| 代理公司： | 中原信達知識產權代理有限責任公司 | 代理人： | 羅大忱;蔣蘇偉 |
| 地址： | 德國*** | 國省代碼： | 德國;DE |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 尤其 適用于 系統 技術 領域 運用 干涉 測量 基于 成像 處理 進行 組合式 幾何 檢測 設備 | ||
【說明書】：
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