[發明專利]等離子體加工系統的多片擋板組件無效
| 申請號： | 200580013389.2 | 申請日： | 2005-04-29 |
| 公開（公告）號： | CN1947216A | 公開（公告）日： | 2007-04-11 |
| 發明（設計）人： | D·費里斯;A·斯里瓦斯塔瓦;M·滕 | 申請（專利權）人： | 艾克塞利斯技術公司 |
| 主分類號： | H01J37/32 | 分類號： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 中國專利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 楊凱;張志醒 |
| 地址： | 美國馬*** | 國省代碼： | 美國;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 等離子體 加工 系統 擋板 組件 | ||
【權利要求書】：
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