[發明專利]曝光圖案形成方法有效
| 申請號： | 200580013115.3 | 申請日： | 2005-04-28 |
| 公開（公告）號： | CN1947064A | 公開（公告）日： | 2007-04-11 |
| 發明（設計）人： | 伊藤三好 | 申請（專利權）人： | 集成方案株式會社 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20;G03F9/00 |
| 代理公司： | 上海市華誠律師事務所 | 代理人： | 徐申民 |
| 地址： | 日本國*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 搜索關鍵詞： | 曝光 圖案 形成 方法 | ||
【權利要求書】：
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