[發明專利]基于散射測量數據確定工藝參數值的方法無效
| 申請號： | 200580012771.1 | 申請日： | 2005-02-22 |
| 公開（公告）號： | CN1947062A | 公開（公告）日： | 2007-04-11 |
| 發明（設計）人： | H·A·J·克拉默;H·凡德拉恩;R·H·J·卡帕杰;A·G·M·基爾斯 | 申請（專利權）人： | ASML荷蘭有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 中國專利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 劉紅;張志醒 |
| 地址： | 荷蘭費*** | 國省代碼： | 荷蘭;NL |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 基于 散射 測量 數據 確定 工藝 參數 方法 | ||
【權利要求書】：
下載完整專利技術內容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于ASML荷蘭有限公司，未經ASML荷蘭有限公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/200580012771.1/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 數據顯示系統、數據中繼設備、數據中繼方法、數據系統、接收設備和數據讀取方法
- 數據記錄方法、數據記錄裝置、數據記錄媒體、數據重播方法和數據重播裝置
- 數據發送方法、數據發送系統、數據發送裝置以及數據結構
- 數據顯示系統、數據中繼設備、數據中繼方法及數據系統
- 數據嵌入裝置、數據嵌入方法、數據提取裝置及數據提取方法
- 數據管理裝置、數據編輯裝置、數據閱覽裝置、數據管理方法、數據編輯方法以及數據閱覽方法
- 數據發送和數據接收設備、數據發送和數據接收方法
- 數據發送裝置、數據接收裝置、數據收發系統、數據發送方法、數據接收方法和數據收發方法
- 數據發送方法、數據再現方法、數據發送裝置及數據再現裝置
- 數據發送方法、數據再現方法、數據發送裝置及數據再現裝置
