[發明專利]抗蝕圖案的形成方法及復合沖洗液有效
| 申請號： | 200580012685.0 | 申請日： | 2005-04-20 |
| 公開（公告）號： | CN1947065A | 公開（公告）日： | 2007-04-11 |
| 發明（設計）人： | 越山淳;脅屋和正;金子文武;宮本敦史;田島秀和;澤田佳宏 | 申請（專利權）人： | 東京應化工業株式會社 |
| 主分類號： | G03F7/32 | 分類號： | G03F7/32;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律師事務所 | 代理人： | 張平元;趙仁臨 |
| 地址： | 日本神*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 圖案 形成 方法 復合 沖洗 | ||
【說明書】：
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