[發明專利]微機電系統開關的制作方法和微機電器件及其制作方法有效
| 申請號： | 200580011761.6 | 申請日： | 2005-02-17 |
| 公開（公告）號： | CN101018734A | 公開（公告）日： | 2007-08-15 |
| 發明（設計）人： | 周嘉興 | 申請（專利權）人： | 無線微機電有限公司 |
| 主分類號： | B81B3/00 | 分類號： | B81B3/00;H01H1/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 中科專利商標代理有限責任公司 | 代理人： | 王波波 |
| 地址： | 美國加利*** | 國省代碼： | 美國;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 微機 系統 開關 制作方法 器件 及其 | ||
【說明書】：
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