[發明專利]半導體裝置及其制造方法無效
| 申請號： | 200580011346.0 | 申請日： | 2005-04-06 |
| 公開（公告）號： | CN1943038A | 公開（公告）日： | 2007-04-04 |
| 發明（設計）人： | 赤松泰彥;宋彩鳳;辻川真平 | 申請（專利權）人： | 株式會社瑞薩科技 |
| 主分類號： | H01L29/78 | 分類號： | H01L29/78;H01L21/336 |
| 代理公司： | 北京三友知識產權代理有限公司 | 代理人： | 丁香蘭 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 半導體 裝置 及其 制造 方法 | ||
【說明書】：
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