[發明專利]靜電電容式半導體物理量傳感器及其制造方法無效
| 申請號： | 200580011007.2 | 申請日： | 2005-12-12 |
| 公開（公告）號： | CN1942746A | 公開（公告）日： | 2007-04-04 |
| 發明（設計）人： | 飯井良介;境浩司;石上敦史;古久保英一 | 申請（專利權）人： | 松下電工株式會社 |
| 主分類號： | G01L1/14 | 分類號： | G01L1/14;H01L29/84 |
| 代理公司： | 隆天國際知識產權代理有限公司 | 代理人： | 史霞 |
| 地址： | 日本國*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 靜電 電容 半導體 物理量 傳感器 及其 制造 方法 | ||
【說明書】：
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