[發明專利]間苯二酚杯芳烴化合物、光致抗蝕劑基材及其組合物無效
| 申請號： | 200580010812.3 | 申請日： | 2005-04-01 |
| 公開（公告）號： | CN1938259A | 公開（公告）日： | 2007-03-28 |
| 發明（設計）人： | 石井宏壽;大和田貴紀;芝崎祐二;上田充 | 申請（專利權）人： | 出光興產株式會社 |
| 主分類號： | C07C67/31 | 分類號： | C07C67/31;C07C69/712;G03F7/039;H01L21/027 |
| 代理公司： | 中科專利商標代理有限責任公司 | 代理人： | 蔣亭 |
| 地址： | 日本國*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 間苯二酚杯 芳烴 化合物 光致抗蝕劑 基材 及其 組合 | ||
【說明書】：
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