[發明專利]涂敷裝置、有機材料薄膜的形成方法、有機EL面板制造裝置有效
| 申請號： | 200580010415.6 | 申請日： | 2005-12-13 |
| 公開（公告）號： | CN1939095A | 公開（公告）日： | 2007-03-28 |
| 發明（設計）人： | 根岸敏夫 | 申請（專利權）人： | 株式會社愛發科 |
| 主分類號： | H05B33/10 | 分類號： | H05B33/10;B05C9/14;B05C5/00;H01L51/50 |
| 代理公司： | 中國專利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 溫大鵬 |
| 地址： | 日本神*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 裝置 有機 材料 薄膜 形成 方法 el 面板 制造 | ||
【權利要求書】：
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