[發明專利]真空卡盤和吸附板有效
| 申請號： | 200580009675.1 | 申請日： | 2005-03-25 |
| 公開（公告）號： | CN1938122A | 公開（公告）日： | 2007-03-28 |
| 發明（設計）人： | 石川茂治;桐山勝之 | 申請（專利權）人： | 揖斐電株式會社 |
| 主分類號： | B23Q3/08 | 分類號： | B23Q3/08;B24B37/04;B24B41/06;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京三友知識產權代理有限公司 | 代理人： | 陳堅 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 真空 卡盤 吸附 | ||
【權利要求書】：
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