[發明專利]基板處理裝置無效
| 申請號： | 200580009276.5 | 申請日： | 2005-06-17 |
| 公開（公告）號： | CN1933901A | 公開（公告）日： | 2007-03-21 |
| 發明（設計）人： | 守谷修司;岡部庸之 | 申請（專利權）人： | 東京毅力科創株式會社 |
| 主分類號： | B01J4/00 | 分類號： | B01J4/00;G05D7/06;H01L21/205;H01L21/3065 |
| 代理公司： | 北京紀凱知識產權代理有限公司 | 代理人： | 龍淳 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 處理 裝置 | ||
【權利要求書】：
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