[發(fā)明專利]碳系薄膜及其制造方法、以及使用該薄膜的構(gòu)件有效

申請?zhí)枺?/td>	200580006057.1	申請日：	2005-02-25
公開（公告）號：	CN1922338A	公開（公告）日：	2007-02-28
發(fā)明（設(shè)計）人：	巖村榮治	申請（專利權(quán)）人：	獨(dú)立行政法人科學(xué)技術(shù)振興機(jī)構(gòu)
主分類號：	C23C14/00	分類號：	C23C14/00;C01B31/02;B82B1/00
代理公司：	中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司	代理人：	李貴亮
地址：	日本***	國省代碼：	日本;JP
權(quán)利要求書：	查看更多	說明書：	查看更多
摘要：
搜索關(guān)鍵詞：	薄膜及其制造方法以及使用構(gòu)件
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