[發明專利]偏光變換元件、光學照明裝置、曝光裝置以及曝光方法有效
| 申請號： | 200580003186.5 | 申請日： | 2005-01-14 |
| 公開（公告）號： | CN1914525A | 公開（公告）日： | 2007-02-14 |
| 發明（設計）人： | 谷津修;重松幸二;廣田弘之;松山知行 | 申請（專利權）人： | 株式會社尼康 |
| 主分類號： | G02B5/30 | 分類號： | G02B5/30;G03F7/20;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京中原華和知識產權代理有限責任公司 | 代理人： | 壽寧 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 偏光 變換 元件 光學 照明 裝置 曝光 以及 方法 | ||
【說明書】：
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