[實用新型]離子源送氣流量控制系統無效
| 申請號： | 200520142514.7 | 申請日： | 2005-12-05 |
| 公開（公告）號： | CN2867417Y | 公開（公告）日： | 2007-02-07 |
| 發明（設計）人： | 唐景庭;伍三忠;郭健輝;彭立波;王迪平;孫勇;許波濤;易文杰;姚志丹;孫雪平;謝均宇 | 申請（專利權）人： | 北京中科信電子裝備有限公司 |
| 主分類號： | G05D7/00 | 分類號： | G05D7/00;G05D7/06;G05B11/42;H01L21/265 |
| 代理公司： | 北京中海智圣知識產權代理有限公司 | 代理人： | 曾永珠 |
| 地址： | 100036北京市海淀區復興路*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 離子源 送氣 流量 控制系統 | ||
【說明書】：
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