[實用新型]化學機械拋光用的帶凸緣夾持環無效
| 申請號： | 200520142378.1 | 申請日： | 2003-05-29 |
| 公開（公告）號： | CN2841244Y | 公開（公告）日： | 2006-11-29 |
| 發明（設計）人： | D·A·馬羅;M-K·曾 | 申請（專利權）人： | 應用材料有限公司 |
| 主分類號： | B24B29/02 | 分類號： | B24B29/02 |
| 代理公司： | 北京紀凱知識產權代理有限公司 | 代理人： | 趙蓉民 |
| 地址： | 美國加利*** | 國省代碼： | 美國;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 化學 機械拋光 凸緣 夾持 | ||
【權利要求書】：
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