[實用新型]一種用于電化學機械拋光的拋光部件無效
| 申請號： | 200520103674.0 | 申請日： | 2003-08-04 |
| 公開（公告）號： | CN2796944Y | 公開（公告）日： | 2006-07-19 |
| 發明（設計）人： | P·D·巴特菲爾德;L-Y·陳;Y·胡;A·P·曼那斯;R·馬伍利烏;S·D·蔡;F·Q·劉;R·威登斯維勒 | 申請（專利權）人： | 應用材料有限公司 |
| 主分類號： | B24B37/04 | 分類號： | B24B37/04 |
| 代理公司： | 北京紀凱知識產權代理有限公司 | 代理人： | 趙蓉民 |
| 地址： | 美國加利*** | 國省代碼： | 美國;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 用于 電化學 機械拋光 拋光 部件 | ||
【權利要求書】：
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