[實用新型]置于真空室和分子泵、油封機械泵間的半導體冷阱裝置無效
| 申請號： | 200520078816.2 | 申請日： | 2005-05-18 |
| 公開（公告）號： | CN2813046Y | 公開（公告）日： | 2006-09-06 |
| 發明（設計）人： | 游志明;馬向利;聶增森;牛志偉;郝超英;楊曉天 | 申請（專利權）人： | 中國科學院近代物理研究所 |
| 主分類號： | B01D8/00 | 分類號： | B01D8/00;F04B37/08 |
| 代理公司： | 蘭州中科華西專利代理有限公司 | 代理人： | 馬正良 |
| 地址： | 730000*** | 國省代碼： | 甘肅;62 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 置于 真空 分子 機械 半導體 裝置 | ||
【說明書】：
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