[實用新型]真空離子濺鍍靶材無效
| 申請號： | 200520071314.7 | 申請日： | 2005-04-30 |
| 公開（公告）號： | CN2786147Y | 公開（公告）日： | 2006-06-07 |
| 發明（設計）人： | 戴明光;林政乾 | 申請（專利權）人： | 戴明光;林政乾 |
| 主分類號： | C23C14/34 | 分類號： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 蘇州創元專利商標事務所有限公司 | 代理人： | 范晴 |
| 地址： | 215011江蘇省蘇州市新區*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 真空 離子 濺鍍靶材 | ||
【說明書】：
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