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[實用新型]抗高過載SOI壓力敏感芯片的結構無效

專利信息
申請號: 200520021822.4 申請日: 2005-10-26
公開(公告)號: CN2888651Y 公開(公告)日: 2007-04-11
發明(設計)人: 王偉;吳亞林;張彤;遲曉珠;張精華 申請(專利權)人: 哈爾濱市東北汽車電子工程技術研究開發中心
主分類號: H01L29/84 分類號: H01L29/84;B81B7/02;G01L1/18
代理公司: 哈爾濱市哈科專利事務所有限責任公司 代理人: 祖玉清
地址: 150001黑龍*** 國省代碼: 黑龍江;23
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 過載 soi 壓力 敏感 芯片 結構
【說明書】:
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