[實用新型]電感耦合等離子體裝置無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200520001643.4 | 申請日： | 2005-01-27 |
| 公開（公告）號： | CN2785310Y | 公開（公告）日： | 2006-05-31 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 申浩南 | 申請（專利權(quán)）人： | 北京北方微電子基地設(shè)備工藝研究中心有限責任公司 |
| 主分類號： | H05H1/30 | 分類號： | H05H1/30;H05H1/26 |
| 代理公司： | 北京凱特來知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人： | 鄭立明 |
| 地址： | 100016北京市*** | 國省代碼： | 北京;11 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 電感 耦合 等離子體 裝置 | ||
【說明書】：
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