[發明專利]水平傳感器、光刻設備以及器件制作方法無效
| 申請號： | 200510134128.8 | 申請日： | 2005-12-26 |
| 公開（公告）號： | CN1797213A | 公開（公告）日： | 2006-07-05 |
| 發明（設計）人： | A·J·A·布魯恩斯馬;F·斯塔爾斯;R·J·凡威杰克;S·尼蒂阿洛夫 | 申請（專利權）人： | ASML荷蘭有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20;H01L21/027 |
| 代理公司： | 中國專利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 劉紅;張志醒 |
| 地址： | 荷蘭維*** | 國省代碼： | 荷蘭;NL |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 水平 傳感器 光刻 設備 以及 器件 制作方法 | ||
【說明書】：
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