[發明專利]精細圖案的制作裝置有效
| 申請號： | 200510132959.1 | 申請日： | 2005-12-29 |
| 公開（公告）號： | CN1831645A | 公開（公告）日： | 2006-09-13 |
| 發明（設計）人： | 李永哲;樸庸碩;許經憲;周蓮 | 申請（專利權）人： | 顯示器生產服務株式會社 |
| 主分類號： | G03F7/00 | 分類號： | G03F7/00;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京金信立方知識產權代理有限公司 | 代理人： | 黃威;張金海 |
| 地址： | 韓國*** | 國省代碼： | 韓國;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 精細 圖案 制作 裝置 | ||
【說明書】：
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