[發明專利]減壓干燥裝置無效
| 申請號： | 200510129603.2 | 申請日： | 2005-12-16 |
| 公開（公告）號： | CN1834791A | 公開（公告）日： | 2006-09-20 |
| 發明（設計）人： | 柿村崇;北村嘉孝 | 申請（專利權）人： | 大日本網目版制造株式會社 |
| 主分類號： | G03F7/38 | 分類號： | G03F7/38;G03F7/26;G03F7/20;H01L21/027 |
| 代理公司： | 隆天國際知識產權代理有限公司 | 代理人： | 高龍鑫;王玉雙 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 減壓 干燥 裝置 | ||
【權利要求書】：
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