[發明專利]一種水基顯影有機硅改性光敏聚酰亞胺材料及其制備方法無效
| 申請號： | 200510119124.2 | 申請日： | 2005-12-28 |
| 公開（公告）號： | CN1794088A | 公開（公告）日： | 2006-06-28 |
| 發明（設計）人： | 張春華;楊正華;朱丹陽;吳作林 | 申請（專利權）人： | 中國科學院長春應用化學研究所 |
| 主分類號： | G03F7/037 | 分類號： | G03F7/037;G03F7/004 |
| 代理公司： | 長春科宇專利代理有限責任公司 | 代理人： | 馬守忠 |
| 地址： | 130022吉*** | 國省代碼： | 吉林;22 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 顯影 有機硅 改性 光敏 聚酰亞胺 材料 及其 制備 方法 | ||
【權利要求書】：
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