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[發明專利]在半導體裝置中形成電容器之存儲節點的方法有效

專利信息
申請號: 200510117259.5 申請日: 2005-10-31
公開(公告)號: CN1794455A 公開(公告)日: 2006-06-28
發明(設計)人: 宣俊劦;李圣權;趙誠允 申請(專利權)人: 海力士半導體有限公司
主分類號: H01L27/108 分類號: H01L27/108;H01L23/522;H01L21/8242;H01L21/768
代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 代理人: 楊紅梅
地址: 韓國*** 國省代碼: 韓國;KR
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摘要:
搜索關鍵詞: 半導體 裝置 形成 電容器 存儲 節點 方法
【權利要求書】:
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1、專利原文基于中國國家知識產權局專利說明書;

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