[發明專利]一種精密定位和調整工裝有效
| 申請號： | 200510112113.1 | 申請日： | 2005-12-27 |
| 公開（公告）號： | CN1794091A | 公開（公告）日： | 2006-06-28 |
| 發明（設計）人： | 劉育;張國韋;袁志揚;嚴天宏 | 申請（專利權）人： | 上海微電子裝備有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海智信專利代理有限公司 | 代理人： | 王潔 |
| 地址： | 201203上海市*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 精密 定位 調整 工裝 | ||
【說明書】：
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