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[發明專利]離子束增強沉積制備P-型氧化鋅薄膜的方法無效

專利信息
申請號: 200510094611.8 申請日: 2005-09-29
公開(公告)號: CN1752269A 公開(公告)日: 2006-03-29
發明(設計)人: 袁寧一;李金華 申請(專利權)人: 江蘇工業學院
主分類號: C23C14/22 分類號: C23C14/22;C23C14/34;C23C14/48;C23C14/54
代理公司: 南京知識律師事務所 代理人: 汪旭東
地址: 2130*** 國省代碼: 江蘇;32
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摘要:
搜索關鍵詞: 離子束 增強 沉積 制備 氧化鋅 薄膜 方法
【權利要求書】:
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