[發明專利]電感耦合線圈及其電感耦合等離子體裝置有效
| 申請號： | 200510093733.5 | 申請日： | 2005-08-29 |
| 公開（公告）號： | CN1925074A | 公開（公告）日： | 2007-03-07 |
| 發明（設計）人： | 宋巧麗 | 申請（專利權）人： | 北京北方微電子基地設備工藝研究中心有限責任公司 |
| 主分類號： | H01F5/00 | 分類號： | H01F5/00;H01F37/00;H01F38/14;H01L21/3065;H05H1/00 |
| 代理公司： | 北京凱特來知識產權代理有限公司 | 代理人： | 鄭立明 |
| 地址： | 100016北京市*** | 國省代碼： | 北京;11 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 電感 耦合 線圈 及其 等離子體 裝置 | ||
【說明書】：
下載完整專利技術內容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于北京北方微電子基地設備工藝研究中心有限責任公司，未經北京北方微電子基地設備工藝研究中心有限責任公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/200510093733.5/2.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
