[發(fā)明專利]用于可靠性試驗(yàn)的速度老化能力的帶有自我試驗(yàn)的成品率增強(qiáng)的失效分析載體有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 200510092707.0 | 申請(qǐng)日： | 2005-08-18 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN1738043A | 公開(kāi)（公告）日： | 2006-02-22 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | R·舒爾茨;M·施密特 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | LSI羅吉克公司 |
| 主分類號(hào)： | H01L23/544 | 分類號(hào)： | H01L23/544;H01L27/02;H01L21/82;H01L21/66;G06F17/50 |
| 代理公司： | 上海專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 | 代理人： | 李玲 |
| 地址： | 美國(guó)加利*** | 國(guó)省代碼： | 美國(guó);US |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 用于 可靠性 試驗(yàn) 速度 老化 能力 帶有 自我 成品率 增強(qiáng) 失效 分析 載體 | ||
【權(quán)利要求書(shū)】：
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