[發明專利]用于有機薄膜的堆積的分子束源有效
| 申請號： | 200510092313.5 | 申請日： | 2005-08-26 |
| 公開（公告）號： | CN1920089A | 公開（公告）日： | 2007-02-28 |
| 發明（設計）人： | 小林理;齋藤建勇 | 申請（專利權）人： | 株式會社日本微拓科技 |
| 主分類號： | C23C14/12 | 分類號： | C23C14/12;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律師事務所 | 代理人： | 魏曉剛;李曉舒 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用于 有機 薄膜 堆積 分子 | ||
【權利要求書】：
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