[發明專利]產光酸聚合物、其制法及包含它的頂部抗反射涂布組合物有效
| 申請號： | 200510092116.3 | 申請日： | 2005-08-19 |
| 公開（公告）號： | CN1789294A | 公開（公告）日： | 2006-06-21 |
| 發明（設計）人： | 鄭傤昌;卜喆圭;林昌文;文承燦 | 申請（專利權）人： | 海力士半導體有限公司 |
| 主分類號： | C08F220/10 | 分類號： | C08F220/10;C08F220/52;C08F232/08;C08F4/32;G03F7/11 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律師事務所 | 代理人： | 封新琴;巫肖南 |
| 地址： | 韓國*** | 國省代碼： | 韓國;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 產光酸 聚合物 制法 包含 頂部 反射 組合 | ||
【權利要求書】：
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