[發(fā)明專利]模具式涂布器涂布方法及以此法制的光刻用防護(hù)膠膜組件有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200510089495.0 | 申請日： | 2005-08-19 |
| 公開（公告）號： | CN1736615A | 公開（公告）日： | 2006-02-22 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 關(guān)原一敏 | 申請（專利權(quán)）人： | 信越化學(xué)工業(yè)株式會社 |
| 主分類號： | B05C5/00 | 分類號： | B05C5/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律師事務(wù)所 | 代理人： | 魏曉剛;李曉舒 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 模具 式涂布器涂布 方法 以此 法制 光刻 防護(hù) 膠膜 組件 | ||
【說明書】：
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