[發明專利]光刻膠保護膜用組合物、光刻膠保護膜及光刻膠圖形形成方法無效
| 申請號： | 200510088468.1 | 申請日： | 2005-07-28 |
| 公開（公告）號： | CN1727995A | 公開（公告）日： | 2006-02-01 |
| 發明（設計）人： | 音澤信行;島田豐通 | 申請（專利權）人： | 旭硝子株式會社 |
| 主分類號： | G03F7/00 | 分類號： | G03F7/00;G03F7/11;G03F7/09 |
| 代理公司： | 上海專利商標事務所有限公司 | 代理人： | 沙永生 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 光刻 保護膜 組合 圖形 形成 方法 | ||
【說明書】：
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