[發明專利]極紫外光刻掩模臺靜電卡盤冷卻器無效
| 申請號： | 200510086937.6 | 申請日： | 2005-11-21 |
| 公開（公告）號： | CN1971422A | 公開（公告）日： | 2007-05-30 |
| 發明（設計）人： | 尚永紅;李艷秋;周鵬飛 | 申請（專利權）人： | 中國科學院電工研究所 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20;F25B21/02;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京科迪生專利代理有限責任公司 | 代理人： | 關玲 |
| 地址： | 100080北*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 紫外 光刻 掩模臺 靜電 卡盤 冷卻器 | ||
【說明書】：
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