[發(fā)明專(zhuān)利]采用環(huán)形光柵和選通快門(mén)的成像干涉光刻方法和系統(tǒng)無(wú)效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 200510086828.4 | 申請(qǐng)日： | 2005-11-10 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN1752848A | 公開(kāi)（公告）日： | 2006-03-29 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 張錦;馮伯儒 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人： | 中國(guó)科學(xué)院光電技術(shù)研究所 |
| 主分類(lèi)號(hào)： | G03F7/20 | 分類(lèi)號(hào)： | G03F7/20;G02B5/18;G02B27/60 |
| 代理公司： | 北京科迪生專(zhuān)利代理有限責(zé)任公司 | 代理人： | 劉秀娟;成金玉 |
| 地址： | 610209*** | 國(guó)省代碼： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 采用 環(huán)形 光柵 快門(mén) 成像 干涉 光刻 方法 系統(tǒng) | ||
【說(shuō)明書(shū)】：
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- 同類(lèi)專(zhuān)利
- 專(zhuān)利分類(lèi)
G03 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類(lèi)似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)
G03F 圖紋面的照相制版工藝，例如，印刷工藝、半導(dǎo)體器件的加工工藝；其所用材料；其所用原版；其所用專(zhuān)用設(shè)備
G03F7-00 圖紋面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工藝；圖紋面照相制版用的材料，如：含光致抗蝕劑的材料；圖紋面照相制版的專(zhuān)用設(shè)備
G03F7-004 .感光材料
G03F7-12 .網(wǎng)屏印刷模或類(lèi)似印刷模的制作，例如，鏤花模版的制作
G03F7-14 .珂羅版印刷模的制作
G03F7-16 .涂層處理及其設(shè)備
G03F7-20 .曝光及其設(shè)備
G03F 圖紋面的照相制版工藝，例如，印刷工藝、半導(dǎo)體器件的加工工藝；其所用材料；其所用原版；其所用專(zhuān)用設(shè)備
G03F7-00 圖紋面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工藝；圖紋面照相制版用的材料，如：含光致抗蝕劑的材料；圖紋面照相制版的專(zhuān)用設(shè)備
G03F7-004 .感光材料
G03F7-12 .網(wǎng)屏印刷模或類(lèi)似印刷模的制作，例如，鏤花模版的制作
G03F7-14 .珂羅版印刷模的制作
G03F7-16 .涂層處理及其設(shè)備
G03F7-20 .曝光及其設(shè)備
- 一種可實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)開(kāi)關(guān)觸頭運(yùn)動(dòng)速度的系統(tǒng)
- 透光遮蔽組合金屬光柵裝置及其制備和使用方法
- 一種游標(biāo)式光柵尺
- 一種基于亮度調(diào)制的正弦光柵感知能力的檢測(cè)方法
- 一種基于光柵方位辨別的空間頻率感知能力的檢測(cè)方法
- 一種亮度調(diào)制的運(yùn)動(dòng)正弦光柵感知能力的檢測(cè)方法
- 一種對(duì)比度調(diào)制的運(yùn)動(dòng)正弦光柵感知能力的檢測(cè)方法
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- 多層光柵結(jié)構(gòu)
- 多層光柵結(jié)構(gòu)
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- 一種用于光刻機(jī)曝光分系統(tǒng)的快門(mén)裝置
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- 鏡頭內(nèi)置裝置、紅外光學(xué)鏡頭及測(cè)溫?zé)嵯駜x
- 鏡頭內(nèi)置裝置、紅外光學(xué)鏡頭及測(cè)溫?zé)嵯駜x
- 一種中分雙折門(mén)機(jī)和層門(mén)裝置快門(mén)結(jié)構(gòu)
- 一種中分雙折門(mén)機(jī)和層門(mén)裝置快門(mén)結(jié)構(gòu)
- 一種組合式快門(mén)片
- 快門(mén)裝置及具有其的拍攝設(shè)備
