[發明專利]從底盤上去除CMP拋光墊的設備和方法無效
| 申請號： | 200510083744.5 | 申請日： | 2005-06-14 |
| 公開（公告）號： | CN1765579A | 公開（公告）日： | 2006-05-03 |
| 發明（設計）人： | 杰勒德·莫洛尼;A·埃內斯托·薩爾達納;科馬克·沃爾什;劉軍 | 申請（專利權）人： | 埃巴拉技術公司 |
| 主分類號： | B24B37/04 | 分類號： | B24B37/04 |
| 代理公司： | 永新專利商標代理有限公司 | 代理人： | 劉興鵬 |
| 地址： | 美國加*** | 國省代碼： | 美國;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 底盤 去除 cmp 拋光 設備 方法 | ||
【權利要求書】：
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