[發明專利]光強度調制元件、強度調制光發生器、激光曝光裝置無效
| 申請號： | 200510083629.8 | 申請日： | 2005-07-12 |
| 公開（公告）號： | CN1721984A | 公開（公告）日： | 2006-01-18 |
| 發明（設計）人： | 橫尾雅一;石井智之;真野晃造;興雄司;岡田龍雄 | 申請（專利權）人： | 諾日士鋼機株式會社 |
| 主分類號： | G03B27/73 | 分類號： | G03B27/73;G05D25/00 |
| 代理公司： | 中科專利商標代理有限責任公司 | 代理人： | 汪惠民 |
| 地址： | 日本和*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 強度 調制 元件 發生器 激光 曝光 裝置 | ||
【權利要求書】：
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