[發明專利]曝光裝置以及曝光方法無效
| 申請號： | 200510083530.8 | 申請日： | 2005-07-08 |
| 公開（公告）號： | CN1719339A | 公開（公告）日： | 2006-01-11 |
| 發明（設計）人： | 北川智也;大野薰 | 申請（專利權）人： | 富士膠片株式會社 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20;G03F9/00 |
| 代理公司： | 中科專利商標代理有限責任公司 | 代理人： | 朱丹 |
| 地址： | 日本神*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 曝光 裝置 以及 方法 | ||
【說明書】：
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