[發明專利]表面拋光的方法與元件無效
| 申請號： | 200510078818.6 | 申請日： | 2005-04-29 |
| 公開（公告）號： | CN1699018A | 公開（公告）日： | 2005-11-23 |
| 發明（設計）人： | 讓－雅克·費爾梅 | 申請（專利權）人： | 歐洲系統光學公司 |
| 主分類號： | B24B37/04 | 分類號： | B24B37/04;H01L21/304 |
| 代理公司： | 永新專利商標代理有限公司 | 代理人： | 劉興鵬 |
| 地址： | 法國普羅旺*** | 國省代碼： | 法國;FR |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 表面 拋光 方法 元件 | ||
【權利要求書】：
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