[發(fā)明專利]多晶硅的生產裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200510078600.0 | 申請日： | 2001-05-09 |
| 公開（公告）號： | CN1699161A | 公開（公告）日： | 2005-11-23 |
| 發(fā)明（設計）人： | 若松智;小田開行 | 申請（專利權）人： | 德山株式會社 |
| 主分類號： | C01B33/02 | 分類號： | C01B33/02 |
| 代理公司： | 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所 | 代理人： | 陳昕 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 多晶 生產 裝置 | ||
【權利要求書】：
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