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[發明專利]高頻等離子氣相合成石英玻璃的方法有效

專利信息
申請號: 200510076613.4 申請日: 2005-06-10
公開(公告)號: CN1699232A 公開(公告)日: 2005-11-23
發明(設計)人: 王玉芬;鐘海;宋學富;饒傳東;宋小兵;顧真安 申請(專利權)人: 中國建筑材料科學研究院
主分類號: C03C8/04 分類號: C03C8/04
代理公司: 北京紀凱知識產權代理有限公司 代理人: 魯兵
地址: 100024*** 國省代碼: 北京;11
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 高頻 等離子 相合 石英玻璃 方法
【說明書】:
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1、專利原文基于中國國家知識產權局專利說明書;

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4、內容包括專利技術的結構示意圖流程工藝圖技術構造圖

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