[發明專利]窄條選擇外延技術制作鋁銦鎵砷掩埋脊波導激光器及方法無效
| 申請號: | 200510073984.7 | 申請日: | 2005-05-27 |
| 公開(公告)號: | CN1870368A | 公開(公告)日: | 2006-11-29 |
| 發明(設計)人: | 馮文;潘教青;趙玲娟;朱洪亮;王圩 | 申請(專利權)人: | 中國科學院半導體研究所 |
| 主分類號: | H01S5/22 | 分類號: | H01S5/22;H01S5/343 |
| 代理公司: | 中科專利商標代理有限責任公司 | 代理人: | 段成云 |
| 地址: | 100083北*** | 國省代碼: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 選擇 外延 技術 制作 鋁銦鎵砷 掩埋 波導 激光器 方法 | ||
【說明書】:
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