[發明專利]利用光學干涉圖樣的自動檢驗系統和方法無效
| 申請號： | 200510073961.6 | 申請日： | 2000-10-10 |
| 公開（公告）號： | CN1728184A | 公開（公告）日： | 2006-02-01 |
| 發明（設計）人： | 保羅·G·庫姆斯;唐納德·M·弗里德里克;肯·D·卡德爾;柯蒂斯·R·魯斯卡;查爾斯·T·馬爾坎特斯 | 申請（專利權）人： | JDS單相公司 |
| 主分類號： | G07D7/12 | 分類號： | G07D7/12;G07D7/00 |
| 代理公司： | 中原信達知識產權代理有限責任公司 | 代理人： | 田軍鋒;車文 |
| 地址： | 美國加利*** | 國省代碼： | 美國;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 利用 光學 干涉 圖樣 自動 檢驗 系統 方法 | ||
【權利要求書】：
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