[發明專利]抗腐蝕的處理室部件有效
| 申請號： | 200510073433.0 | 申請日： | 2005-05-24 |
| 公開（公告）號： | CN1702053A | 公開（公告）日： | 2005-11-30 |
| 發明（設計）人： | L·穆魯蓋什;S·德特瑪;H·方 | 申請（專利權）人： | 應用材料有限公司 |
| 主分類號： | C04B35/10 | 分類號： | C04B35/10 |
| 代理公司： | 北京紀凱知識產權代理有限公司 | 代理人： | 趙蓉民 |
| 地址： | 美國加利*** | 國省代碼： | 美國;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 腐蝕 處理 部件 | ||
【權利要求書】：
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