[發(fā)明專利]化學(xué)機(jī)械研磨用墊無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200510072918.8 | 申請日： | 2005-05-24 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN1701919A | 公開（公告）日： | 2005-11-30 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 河原弘二;長谷川亨;櫻井富士夫 | 申請（專利權(quán)）人： | JSR株式會(huì)社 |
| 主分類號(hào)： | B24B37/04 | 分類號(hào)： | B24B37/04;H01L21/304 |
| 代理公司： | 中國專利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 郭煜;龐立志 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 化學(xué) 機(jī)械 研磨 | ||
【權(quán)利要求書】：
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