[發(fā)明專利]激光輻射方法及激光輻射裝置有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 200510072607.1 | 申請(qǐng)日： | 2005-05-16 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN1696763A | 公開（公告）日： | 2005-11-16 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 田中幸一郎;大石洋正 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 株式會(huì)社半導(dǎo)體能源研究所 |
| 主分類號(hào)： | G02B27/00 | 分類號(hào)： | G02B27/00;H01L21/027;G02B3/00 |
| 代理公司： | 中國專利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 張雪梅;張志醒 |
| 地址： | 日本神*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 激光 輻射 方法 裝置 | ||
【權(quán)利要求書】：
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